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槽式单晶制绒机 S400/S510/S550/S600

槽式单晶制绒机 S400/S510/S550/S600

主要功能:

用于单晶硅片的损伤层去除、制绒、清洗、干燥。



0512-66163090
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设备性能

产能: Up to 9600/8000/10000/12000 Wafers/Hour

设备有效利用率:≥98%

碎片率:≤0.01%

 

硅片规格

硅片厚度:≥140 μm

硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

花篮类型:Low-surface carrier (LSC)made by PVDF

花篮片间距:4.1mm

花篮容量:100-120 wafers


机械臂系统

机械臂:4 sets

伺服马达:8 PC

抬起时间:Less than 5 sec 

 

设备尺寸 

长*宽*高:15998*2630*2574mm

长*宽*高:16200*3000*2574mm

长*宽*高:17730*3000*2574mm

长*宽*高:25560*2960*2574mm

 

方向

工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

 

 电力供应

供电:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制电源:DC 24V

满载电源:230KW/138KW

建议最大保险丝规格:225A/135A

 

安装要求

最小地面承重:750Kg/㎡

最低车间高度:3.5m

无尘室级别:ISO7(10K Class)

环境温度:17℃<RT<30℃

最大湿度:70%