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链式清洗机5道/8道/10道

链式清洗机5道/8道/10道

主要功能:

设备性能

可调传动速度:0.5-3m/min

常规运行速度:2.5m/min

产能: Up to 4000/6800/8000 Wafers/H@20mm

设备有效利用率:≥98%

反射率:≤16%

碎片率:≤0.03%

 

硅片规格

硅片厚度:≥140 μm

硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

 

设备尺寸 

长*宽*高:5060*2250*2120mm

长*宽*高:3710*2650*2120mm

长*宽*高:3810*3050*2200mm

工作宽度:965mm/1515mm/1911mm

传输高度:1000±25mm

模块材料:PP,PVDF

 

传动

传动类型:5 lane/8 lane/10 lane

轴间距:50mm/60mm

主传动轴:17mm,Hexagon

传动滚轮:Φ32mm

 

方向

工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

 

电力供应

供电:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制电源:DC 24V

满载电源:25A/48A

建议最大保险丝规格:48A/63A

 

安装要求

最小地面承重:750Kg/㎡

最低车间高度:3.5m

无尘室级别:ISO7(10K Class)

环境温度:17℃<RT<30℃

最大湿度:70%




0512-66163090
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