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链式刻蚀机5道/8道/10道

链式刻蚀机5道/8道/10道

主要功能:

用于单、多晶硅片的刻蚀、去PSG/BSG、清洗、干燥。



0512-66163090
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设备性能

可调传动速度:0.5-3m/min

常规运行速度:2.5m/min

产能: Up to 4000 Wafers/H@20mm

  Up to 6800 Wafers/H@20mm

           Up to 8000 Wafers/H@20mm

设备有效利用率:≥98%

刻蚀深度范围:0.7~6μm

碎片率:≤0.03%

 

硅片规格

硅片厚度≥140μm

硅片尺寸156.75*156.75mm-212*212mm


传动

传动类型:5 lane/6 lane

轴间距:50mm/60mm

主传动轴:17mm,Hexagon

传动滚轮:Φ32mm

 

方向

工作方向:Left→Right/ Right→Left(TBD) 

 

电力供应

供电:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制电源:DC 24V

满载电源:75A

建议最大保险丝规格:100A


安装要求

最小地面承重:75Kg/㎡

最低车间高度:3.5m

无尘室级别:ISO7(10K Class)

环境温度:17℃<RT<30℃

最大湿度:70%